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本文研究了酞菁鋅（ZnPc）薄膜的表面形貌及ZnPc薄膜作為緩沖層對(duì)有機(jī)電致發(fā)光器件（OLEDs）光電特性的影響。對(duì)比兩組樣品的AFM圖像，ZnPc薄膜相比于ITO薄膜，其表面的島面積較大，薄膜表面更連續(xù)平整，基本上覆蓋了ITO膜表面針孔，減少了表面的缺陷。另外，ZnPc薄膜的島分布均勻有序。使用ZnPc作為緩沖層的器件性能明顯好于未使用ZnPc修飾的器件，在7．42V的驅(qū)動(dòng)電壓下的最大發(fā)光亮度達(dá)到1．428kcd／m^2，在4．3V電壓驅(qū)動(dòng)下時(shí)，最大光功率效率為1．411m／W；而未使用緩沖層的器件在8V的驅(qū)動(dòng)電壓下達(dá)到最大發(fā)光亮度達(dá)到1．212kcd／m^2，在5．5V電壓驅(qū)動(dòng)下時(shí)，最大光功率效率為0．931m／W。