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實驗采用低溫直流磁控濺射技 術(shù),經(jīng)O_2和Zn在真空腔內(nèi)反應(yīng)、在滌綸紡粘非織造布表面沉積ZnO功能性納米薄膜。運用能量散射X射線能譜儀(EDX)分析樣品鍍層前后元素組成的變 化及其含量,并利用原子力顯微鏡(AFM)分析納米結(jié)構(gòu)表面鍍層的形貌及其與直流濺射工藝參數(shù)的關(guān)系。分析表明:ZnO顆粒尺寸在一定范圍內(nèi)隨氧氬比的增 大而增大,氧氬比為20sccm:20sccm時較合適;濺射功率和鍍膜厚度的增加均使ZnO顆粒尺寸增大,濺射功率過大會導(dǎo)致ZnO顆粒發(fā)生畸變;濺射 壓強增加顆粒直徑則是先增大后減小,同時壓強增大顆粒均勻性和取向性變差。利用織物感應(yīng)式靜電測試儀測試鍍層前后織物的抗靜電性能,發(fā)現(xiàn)經(jīng)鍍層后非織造布 的抗靜電性能得到了顯著的改善,而且隨著膜厚的增加抗靜電性能提高也很明顯。