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利用不同的熱處理溫度對(duì)磁控濺射在玻璃基底的ITO薄膜進(jìn)行退火處理。借助于原子力顯微鏡 (AFM)、分光輻射計(jì)、四探針電阻測(cè)試儀等測(cè)試手段對(duì)不同熱處理后的ITO...