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采用反應磁控濺射方法,用Ag作為濺射靶,用乙二醇二甲基醚揮發(fā) 性單體通過等離子體化學氣相聚合制備含Ag的PEO殺菌薄膜;通過FTIR光譜、XPS能譜、UV可見光譜等確定薄膜中的各種成分以及含量,并研究工藝條 件對薄膜結構成分的影響;XRD衍射分析薄膜中所摻雜銀的晶面結構和Ag的顆粒度大小;AFM分析了表面的形貌和結構.實驗發(fā)現(xiàn)等離子體的宏觀參量如源氣 體流量比、工作氣壓、濺射功率等對所聚合的薄膜結構成分影響較大;Ag在薄膜中以原子形態(tài)存在而且以(111)晶面為主;Ag(111)對殺菌應用起主要 的作用.