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采用溶膠凝膠法和旋轉(zhuǎn)涂膜工藝,以普通玻璃為襯底,制備均勻、透明的TiO2納米薄膜。利用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)和紫外可見(jiàn)光譜(UV/vis)對(duì)TiO2進(jìn)行表征。通過(guò)500℃、600℃、700℃、800℃和900℃恒溫?zé)Y(jié)2h后XRD測(cè)試表明:經(jīng)500°C退火得到TiO2粉末為銳鈦礦晶相,800℃轉(zhuǎn)化為金紅石相結(jié)構(gòu),900℃出現(xiàn)了金紅石相與板鈦礦相的混合晶相。通過(guò)AFM觀測(cè),薄膜的平均粗糙度為1.71nm。通過(guò)紫外可見(jiàn)光譜分析,探討了影響TiO2納米膜厚度和禁帶寬度度的各種因素。結(jié)果表明:涂膜次數(shù)、熱處理溫度等將直接影響二氧化鈦薄膜的紫外可見(jiàn)光譜和禁帶寬度。