提出了一種利用硫酸/過氧化氫溶液氧化清洗硅基的方法.硅片經(jīng)超聲預(yù)清洗后,放入硫酸/過氧化氫溶液中,80℃下氧化清洗其表面的污染物.通過接觸角檢測,表征了清洗前后硅基表面的親水性變化.通過原子力顯微鏡(AFM)表征了經(jīng)硫酸/過氧化氫溶液清洗后硅基的表面形貌.結(jié)果顯示,經(jīng)硫酸/過氧化氫溶液親水化清洗30 min后的硅基表面的接觸角為7.3°,顯示出很強的親水性,其表面均方根粗糙度(RMS)僅為0.03 nm.因此,硫酸/過氧化氫氧化清洗法是一種硅基表面無形貌改變的親水化清洗方法.
論文下載
作者
毛強強,文路,劉宏芳,劉善堂
期刊
武漢工程大學(xué)學(xué)報
年份