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室溫下采用射頻磁控濺射技術在滌綸紡粘非織造布表面沉積鈷鐵（CoFe）合金薄膜。通過原子力顯微鏡（AFM）觀察了CoFe合金薄膜在無紡織布表面沉積的微觀結(jié)構，并較為系統(tǒng)地分析了濺射時間、濺射壓強及濺射功率對CoFe合金薄膜微觀結(jié)構的影響。結(jié)果表明，磁控濺射的工藝參數(shù)配置對CoFe合金薄膜表面形貌的影響很大，濺射時間的長短、濺射功率的大小對成膜的均勻性有很大影響，在一定的濺射壓強（0．5Pa）時合金顆粒將會因團聚而急速增大