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采用溶膠-凝膠技術(shù)制備不同Na摻雜ZnO薄膜,用XRD、拉曼 光譜儀、AFM、SEM和紫外可見分光光度計等表征方法研究了Na摻雜量對ZnO薄膜的表面形貌和光學性質(zhì)的影響.XRD和Raman光譜分析表 明:8.0 at%Na摻雜ZnO薄膜具有最佳c軸擇優(yōu)取向,內(nèi)部殘余張應力最大;表面形貌研究結(jié)果顯示:薄膜的平均粒徑和粗糙度均隨Na含量的增加而增大.薄膜在可 見光范圍內(nèi)的平均透射率大于80%,隨著Na含量從0增加到10at%,薄膜的光學帶寬由3.283 eV增大到 3.305 eV.