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采用溶膠-凝膠技術(shù)在Si(111)和石英玻璃襯底上制備了Mg摻雜ZnO薄膜.用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描電鏡(SEM)和紫外-可見(UV-Vis)分光光度計(jì)測(cè)試薄膜的微結(jié)構(gòu)、表面形貌和光學(xué)性質(zhì).結(jié)果表明:所得Mg摻雜ZnO薄膜仍為六角纖鋅礦型結(jié)構(gòu),呈c軸方向擇優(yōu)生長(zhǎng),隨著退火溫度升高,薄膜的晶格常數(shù)c由0.5288 nm減小到0.5278 nm,粗糙度從3.8 nm增大到6.5 nm,光學(xué)帶隙由3.26 eV增大到3.31 eV.