本試驗(yàn)采用溶膠-凝膠工藝在印 有電極的石英玻璃表面,通過浸漬-提拉法制備稀土離子摻雜的TiO2-20wt%SnO2復(fù)合薄膜.研究當(dāng)測試頻率為0.01 kHz時,燒結(jié)溫度和稀土摻雜量對薄膜濕敏性能的影響.試驗(yàn)結(jié)果表明:在400℃和500℃下燒結(jié)的薄膜的濕敏性能要優(yōu)于在600℃和700℃燒結(jié)的薄膜 的濕敏性能;摻雜稀土離子的薄膜的感濕性能得到了改善,固有阻值降低;400℃燒結(jié)的0.5wt%La2O3摻雜的薄膜在45~95RH%濕度范圍內(nèi)阻抗 值下降兩個數(shù)量級;500℃下燒結(jié)的0.2wt%CeO2摻雜的薄膜在25~95RH%濕度范圍內(nèi)阻抗值下降兩個數(shù)量級.
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作者
劉紅偉,史志銘,李紅霞
期刊
內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)
年份