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本文介紹了用磁增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積方法在連續(xù)(Roll-to-Roll)系統(tǒng)中于有機(jī)薄膜PET表面沉積納米SiOx高阻隔薄膜的工藝。實(shí)驗(yàn)研究了放電功率和鍍膜速度對(duì)所沉積薄膜的阻隔性能的影響,并通過(guò)紅外光譜分析薄膜的結(jié)構(gòu)成分、原子力顯微鏡(AFM)表征表面形貌。在最佳放電參數(shù)下,得到PET表面鍍SiOx薄膜的氧氣透過(guò)率(OTR)值最小,為0.725 cc/m~2-day(原膜為130cc/m~2-day