搭建了雙光束激光干涉光刻系統(tǒng)和激光快速掃描系統(tǒng)，采用激光干涉光刻系統(tǒng)在抗蝕劑表面構(gòu)造了不同周期、不同深度的微米級光柵織構(gòu)，利用激光快速掃描系統(tǒng)對大尺度網(wǎng)格織構(gòu)的構(gòu)筑進(jìn)行了優(yōu)化，同時提出了兩種雙尺度復(fù)合結(jié)構(gòu)的制備方法。
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作者
賀海東;郝敬賓;趙恩蘭;楊海峰;唐瑋;朱華;錢濟(jì)國
期刊
強(qiáng)激光與粒子束
年份