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針對傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光的平坦化制程中拋光液使用量大和環(huán)保等問題，提出了一種利用超聲波霧化拋光液進(jìn)行拋光的工藝方法。介紹了試驗臺架搭建、工藝處理方法、工作原理和拋光工藝，并與傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光效果進(jìn)行了比較。研究表明，在表面質(zhì)量上，霧化工藝能夠達(dá)到傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光的量級，其使用量是傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光的1 /10。