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利用射頻磁控濺射法結(jié)合后退火工藝在LaAlO3 (100)襯底上制備了La0.4 Nd0.1 Sr0.5 MnO3 (LNSMO)一系列薄膜樣品.通過X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、光電子能譜(XPS)、四探針法對(duì)其結(jié)構(gòu)及性質(zhì)進(jìn)行了測(cè)試.結(jié)果表 明,薄膜在700 ～900℃溫度區(qū)間退火形成單相的贗立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu).退火溫度不同導(dǎo)致薄膜中氧含量發(fā)生變化并且對(duì)晶粒的尺寸也有很大影響.經(jīng)過850℃退火的薄膜樣品, 在室溫300 K,磁場(chǎng)為1.5T的條件下,磁電阻達(dá)到24.9％.