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采用超聲噴霧裂解法( USP) 法制備α-Fe2O3以及不同厚度的Ti 摻雜α-Fe2O3薄膜，并通過XRD、XPS、SEM、IPCE 表征了合成的薄膜。XRD 測試結(jié)果表明，Ti 摻雜和純相Fe2O3均為α 相并在( 110) 晶面優(yōu)先生長; 從AFM 圖中看出Fe2O3晶粒呈尖峰狀垂直于平面排列; 由XPS 分析得知Ti 離子在Fe2O3薄膜中Ti4+和Ti3+兩個(gè)價(jià)態(tài)存在; 由光電效率表征可知，吸收光電轉(zhuǎn)換效率( APCE) 值是隨著樣品薄膜厚度增加而減小，在厚度為20nm 時(shí)APCE 為58%，對于粉末Fe2O3光催化材料是粒徑尺寸越小光利用率越高; 然而Fe2O3薄膜的IPCE 值在厚度為60nm 時(shí)最高達(dá)到23. 5%，此時(shí)光利用效率最大