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采用射頻反應(yīng)磁控濺射法以不同的氧氬比在玻璃襯底上制備了ZnO薄膜,并對(duì)薄膜進(jìn)行了退火處 理;利用X射線衍射儀（XRD）和原子力顯微鏡（AFM）分別對(duì)薄膜的物相組成和表面形貌進(jìn)行了分析,利用熒光分光光度計(jì)對(duì)ZnO薄膜的室溫光致發(fā)光 （PL）譜進(jìn)行了測(cè)試。結(jié)果表明：當(dāng)氧氬氣體積比為7∶5時(shí),所制備的ZnO薄膜晶粒細(xì)小均勻,薄膜結(jié)晶質(zhì)量最好;ZnO薄膜具有紫光、藍(lán)光和綠光三個(gè)發(fā) 光峰,隨著氧氬比的增加,藍(lán)光的發(fā)射強(qiáng)度增強(qiáng),而紫光和綠光的發(fā)射強(qiáng)度先增強(qiáng)后減弱,當(dāng)氧氬氣體積比為7∶5時(shí)紫光和綠光的發(fā)射強(qiáng)度最強(qiáng)