為了研究沉積時(shí)間和襯底溫度對(duì)類(lèi)金剛石薄膜的影響，在用脈沖激光沉積法在Al2O3 襯底上制備類(lèi)金剛石薄膜的實(shí)驗(yàn)中，保持其他實(shí)驗(yàn)參數(shù)不變，先取沉積時(shí)間分別為15 min 和40 min 來(lái)沉積薄膜；再取襯底溫度分別30℃和300℃來(lái)沉積薄膜。用顯微鏡觀察薄膜是否有起皺現(xiàn)象，用Raman 光譜儀檢測(cè)薄膜的微觀結(jié)構(gòu)，用原子力顯微鏡檢測(cè)薄膜的表面形貌。結(jié)果表明：薄膜中存在一些石墨顆粒。沉積時(shí)間和襯底溫度對(duì)薄膜的黏附性和微觀結(jié)構(gòu)均有顯著影響———延長(zhǎng)沉積時(shí)間或升高襯底溫度都將導(dǎo)致薄膜內(nèi)的殘余應(yīng)力增加和薄膜起皺?？s短沉積時(shí)間或升高襯底溫度都將導(dǎo)致薄膜中的
sp3/sp2 比值減小、非晶態(tài)的sp2 鍵向石墨晶相轉(zhuǎn)化、石墨晶粒數(shù)量增多，體積增大。最后，根據(jù)脈沖激光沉積類(lèi)金剛石薄膜的機(jī)理對(duì)實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象進(jìn)行了分析
論文下載
作者
羅樂(lè);儲(chǔ)雅瓊;秦娟娟;方曉東;方尚旭;陶汝華
期刊
紅外與激光工程
年份