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提出一種鈍化InP 表面的新方法———濕法鈍化和干法鈍化相結(jié)合。這種新型的鈍化方式有效地降低了InP 表面態(tài)密度，并使其表面暴露在空氣中一段時(shí)間后仍具有較好的穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)利用光致發(fā)光(PL)譜, 對(duì)樣品的發(fā)光性質(zhì)進(jìn)行測(cè)試。通過(guò)對(duì)樣品進(jìn)行XPS 測(cè)試表明，通過(guò)對(duì)樣品進(jìn)行退火處理，可增強(qiáng)In-S 鍵結(jié)合強(qiáng)度，進(jìn)一步降低表面態(tài)密度。最后，利用原子力顯微鏡(AFM)對(duì)樣品的表面形貌進(jìn)行表征