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LiB3O5(LBO)非線性光學(xué)晶體軟、脆的特點增加了超精密加工的難度。采用固結(jié)磨料拋光技術(shù)對LBO 晶體(110)面進行拋光，研究酸性、中性和堿性拋光液pH 值調(diào)節(jié)劑及pH 值對晶體拋光材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影響。結(jié)果表明：酸性拋光液對LBO 晶體表面的腐蝕作用太大，中性拋光液的腐蝕作用太小，不適合拋光LBO 晶體；乙二胺配制pH 值為11 的無磨料堿性拋光液固結(jié)磨料拋光LBO 晶體(110)面，獲得高的晶體表面質(zhì)量，表面粗糙度Sa 為1.94 nm，表面損傷小。