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平行板電容是大多數(shù)MEMS 傳感器件的核心檢測結(jié)構(gòu)。考慮隨著檢測電極間距的減小，電極表面粗糙度會對其空間電場分布產(chǎn)生影響，本文研究了電極表面粗糙度對檢測電容性能的影響。建立了單粗糙電極的平行板電容器模型，并采用有限元法分析了表面粗糙度和邊緣效應(yīng)對靜電場分布的影響; 針對粗糙表面增大了電極存儲電荷的能力，對粗糙表面的平行板電容器計(jì)算公式進(jìn)行了修正。采用原子力顯微鏡對不同粗糙度的樣本進(jìn)行了表征，實(shí)驗(yàn)和仿真結(jié)果表明:減小兩電極之間的距離，增大檢測電極的表面粗糙度，可以顯著增大檢測電容。當(dāng)檢測電極的粗糙度從0． 063 nm 增加到60 nm 時，平行板電容器電容值增大了9． 0%。結(jié)論顯示，增大MEMS 電容器兩電極的表面粗糙度，可以有效地增大MEMS 器件的檢測靈敏度