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采用聚偏氟乙烯（ＰＶＤＦ）壓電薄膜和壓電陶瓷（ＰＺＴ），并結(jié)合由電化學(xué)研磨得到的鎢探針，研制了一種具有對稱結(jié)構(gòu)的新型輕敲模式掃描測頭。在該測頭中，ＰＶＤＦ壓電薄膜作為振動梁，其下方中間位置固定有鎢探針，在ＰＺＴ的驅(qū)動下，ＰＶＤＦ和探針處于諧振振動狀態(tài)，同時，ＰＶＤＦ作為微力傳感器檢測探針頂端原子與試樣表面原子間的作用力。所構(gòu)建測頭結(jié)合三維納米定位臺、控制程序等構(gòu)成了新型掃描探針顯微鏡系統(tǒng)。介紹了測頭的構(gòu)成、工作原理、特性以及ＳＰＭ 系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)、測量原理、三維工作臺的定位控制、信號處理過程和整系統(tǒng)特性測試，并以一維標(biāo)準(zhǔn)光柵為試樣進行三維圖像掃描，證明了該新型掃描探針顯微鏡系統(tǒng)的可行性和有效性。