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粘著、 摩擦和磨損是影響微/納機電器件穩(wěn)定性和壽命的關(guān)鍵因素。利用浸漬-提拉法在硅基底上制備了兩種具有單、雙咪唑環(huán)陽離子結(jié)構(gòu)的離子液體薄膜。采用熱重分析儀評價了離子液體的熱穩(wěn)定性。利用原子力顯微鏡測定了薄膜的表面形貌和納米摩擦學(xué)性能。利用球-盤式摩擦試驗機考察了載荷和頻率對薄膜的微摩擦學(xué)性質(zhì)的影響。對比分析了基于不同陽離子結(jié)構(gòu)的薄膜的微/納摩擦學(xué)性能。結(jié)果表明：兩種離子液體薄膜的納米摩擦力隨著原子力針尖掃描頻率的增加而增加，且[BMIM]PF6薄膜的摩擦力低于2[BMIM]PF6薄膜。此外，[BMIM]PF6 薄膜的微摩擦系數(shù)低于2[BMIM]PF6。因此， 離子液體的陽離子結(jié)構(gòu)對其作為薄膜的微/納摩擦學(xué)性能有重要影響。