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本文采用溶膠-凝膠工藝在玻璃基體表面制備了一、二、三層ZrO2薄膜。X射線衍射（XRD）分析表明,經(jīng)500℃燒結(jié)熱處理后ZrO2的晶體結(jié)構(gòu)為單斜相和四方相的混合相。通過原子力顯微鏡（AFM）對(duì)ZrO2薄膜的厚度和表面形貌進(jìn)行研究表明,一、二、三層ZrO2薄膜的厚度分別約為50nm、80nm和100nm;并且,隨著薄膜厚度的增加,ZrO2薄膜表面由多孔結(jié)構(gòu)變?yōu)榫o密、均勻分布的顆粒狀結(jié)構(gòu),薄膜的表面粗糙度也逐漸減小。