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結(jié)合壓力傳感器氧化絕緣納米結(jié)構(gòu)的制作,研究了基于AFM的納米陽(yáng)極氧化加工過程中偏置電壓與環(huán)境溫度、濕度等對(duì)氧化點(diǎn)尺寸的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,氧化點(diǎn)的尺寸隨偏置電壓和環(huán)境濕度的增大而增大,但過高的偏置電壓和環(huán)境溫度將會(huì)造成氧化點(diǎn)表面產(chǎn)生臺(tái)階現(xiàn)象;環(huán)境溫度22℃,偏置電壓8V,環(huán)境濕度50%,氧化時(shí)間8s,對(duì)于n型Si(100)的氧化加工而言是相對(duì)合適的加工參數(shù)。