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采用反應(yīng)磁控濺射法在ITO玻璃上制備氮摻雜氧化鎢(WO3:N)薄膜。采用XRD、XPS、AFM對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)、成分、結(jié)合鍵和表面形貌進(jìn)行表征。將WO3:N薄膜封裝制成電致變色器件,并采用直流穩(wěn)壓電源和分光光度計(jì)對(duì)其進(jìn)行變色調(diào)制性能測(cè)試。結(jié)果表明:制備的WO3:N薄膜為納米晶結(jié)構(gòu),其衍射峰位隨著含N量的增加而右移;WO3:N薄膜中W、O分別以W6+和O2-存在,而N以中性價(jià)態(tài)、WO3中的O位替換以及表面吸附3種狀態(tài)存在;隨著WO3:N薄膜中含N量的升高,表面粗糙度逐漸增大,且有利于器件著色;當(dāng)摻氮2.80%(摩爾分?jǐn)?shù))時(shí),電致變色器件調(diào)制幅度最大為68.8%,比未摻氮器件的高出7.7%,適用于節(jié)能玻璃。