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基于PDMS的微流控系統(tǒng)的鍵合封裝技術(shù)需要PDMS表面具有良好的粘合力和親水性,作為PDMS表面改性技術(shù),等離子體處理工藝(Plasma)具有高效、快捷、操作簡單等特點(diǎn),但它存在"回復(fù)"和裂紋問題。文中介紹了一種結(jié)合Plasma和表面活性劑十二烷基硫酸鈉(SDS)的二次處理工藝。先利用Plasma技術(shù)對PDMS表面進(jìn)行無裂紋親水處理,再利用十二烷基硫酸鈉溶液對其表面進(jìn)行二次處理。既可以避免PDMS表面出現(xiàn)裂紋,又可以使PDMS表面親水性長久的保持。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,兩次處理后接觸角減小為21°,表面粗糙度達(dá)到1.71 nm,且表面無裂紋,并經(jīng)過鍵合測試后,經(jīng)過二次處理的PDMS與玻璃和PDMS實(shí)現(xiàn)了長久的鍵合,驗(yàn)證了該工藝技術(shù)可行,為微流控系統(tǒng)的鍵合封裝提供了技術(shù)基礎(chǔ)。