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采用溶膠-凝膠法(Sol-Gel)制備氧化鋅(ZnO)薄膜,研究鍍膜層數(shù)和退火溫度對(duì)ZnO薄膜晶體結(jié)構(gòu)、光譜性質(zhì)及表面形貌的影響。X射線衍射譜測(cè)試表明,退火溫度為600℃、鍍膜層數(shù)為10層時(shí)制備樣品的晶粒尺寸最大,結(jié)晶度最好。紫外-可見透過(guò)譜發(fā)現(xiàn),樣品退火后其透過(guò)率曲線變得陡直,光學(xué)帶隙隨退火溫度升高而逐漸減小。光致發(fā)光譜測(cè)試顯示,ZnO薄膜的發(fā)光譜包含388 nm和394 nm附近的兩個(gè)主要發(fā)光峰,分別對(duì)應(yīng)于本征發(fā)射和缺陷發(fā)射,其強(qiáng)度隨退火溫度升高呈現(xiàn)相反的變化。原子力顯微照片則顯示了隨退火溫度的升高制備樣品表面晶粒的分布趨于均勻而致密。