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利用溶膠凝膠法(Sol-Gel)以非晶玻璃為襯底生成氧化鋅薄膜,探究了退火溫度對(duì)氧化鋅薄膜電學(xué)性能、透光性以及微觀結(jié)構(gòu)的影響。利用掃描探針顯微鏡(AFM)分析發(fā)現(xiàn)樣品顆?;境汕蛐?粒徑大小在15~80nm以?xún)?nèi),比表面積較大:利用四探針儀對(duì)其電阻率進(jìn)行測(cè)定,發(fā)現(xiàn)其最低電阻率在6.5×10-4Ω·m;利用雙光束分光計(jì)對(duì)其進(jìn)行了測(cè)定分析,發(fā)現(xiàn)在可見(jiàn)光范圍(420nm~700nm)內(nèi),薄膜的透射率能到達(dá)82%。

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作者

程宇奇.

期刊

化學(xué)工程與裝備,6,21-23(2015)

年份