研磨液中的化學(xué)添加劑對(duì)于藍(lán)寶石晶圓的高效超光滑表面加工至關(guān)重要.文中開展了固結(jié)磨料研磨藍(lán)寶石晶圓的實(shí)驗(yàn)研究,探索了不同乙二醇含量的研磨液對(duì)材料去除速率和表面形貌的影響規(guī)律,采用微/納米壓痕技術(shù)和光電子能譜剖析了工件表層的物理化學(xué)性能.結(jié)果表明:當(dāng)研磨液中含有5%的乙二醇時(shí),工件表面變質(zhì)層深度約為3.90 nm,遠(yuǎn)優(yōu)于去離子水研磨液的工件變質(zhì)層深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促進(jìn)了表面變質(zhì)層的生成,有利于藍(lán)寶石工件研磨效率的提高和表面質(zhì)量的改善.
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作者
王建彬;朱永偉;居志蘭;徐俊;左敦穩(wěn).
期刊
華南理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版),11,25-30,39(2015)
年份