利用脈沖激光沉積法在玻璃襯底上生長(zhǎng)、并經(jīng)Ar保護(hù)下快速退火制備SnS薄膜。利用X射線衍射、拉曼光譜、X射線能量色散譜、原子力顯微鏡、紫外-可見(jiàn)-近紅外分光光度計(jì)等表征手段,對(duì)不同條件(脈沖激光能量:90和140 rnJ;退火溫度:100~400℃)下制備SnS薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、表面形貌、光學(xué)特性等進(jìn)行表征分析。結(jié)果表明:脈沖激光能量為140mJ、退火溫度為300℃時(shí)所制備的SnS薄膜結(jié)晶質(zhì)量良好、擇優(yōu)取向生長(zhǎng)良好、成分接近理想配比(Sn:S=1:1.03)、光吸收系數(shù)為10~5 cm~(-1)量級(jí)。
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作者
馬明杰;劉磊;李學(xué)留;陳士榮;郭慧爾;余亮;梁齊.
期刊
真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào),36:1,72-79(2016)
年份