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采用磁控濺射方法在不銹鋼表面沉積 TiN 薄膜，通過(guò)掃描電子顯微鏡、顯微硬度計(jì)、CSPM5500掃描探針顯微鏡、X射線衍射儀、往復(fù)式摩擦磨損儀等分析測(cè)試手段，研究氮?dú)饬髁繉?duì)薄膜形貌、成分、結(jié)構(gòu)、硬度、表面粗糙度、耐磨損等性能的影響.結(jié)果表明，隨著氮?dú)饬髁康脑黾?，薄膜的顯微硬度、膜厚都逐漸降低，膜基結(jié)合力逐漸增加，膜基結(jié)合力在16 mL/min時(shí)達(dá)到最大67.2 N；表面粗糙度和平均摩擦系數(shù)均在8 mL/min時(shí)最低.隨著氮?dú)饬髁吭黾?薄膜主要生長(zhǎng)取向由（200）晶面轉(zhuǎn)向（111）晶面生長(zhǎng)；TiN薄膜的顏色也隨氮?dú)饬髁吭龃蠖由?8 mL/min和12 mL/min 時(shí)為金黃色，4 mL/min和16 mL/min時(shí)顏色較差.