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文章在氧化銦錫（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ，ＩＴＯ）玻璃上用反應(yīng)磁控濺射法制備了氮摻雜ＷＯ３薄膜和ＴｉＯ２薄膜，并封裝制成電致變色器件。用Ｘ－ｒａｙ衍射儀、原子力顯微鏡、Ｘ射線光電子能譜儀對薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌、成分和結(jié)合鍵進行表征；采用直流穩(wěn)壓電源和分光光度計對器件的透光變色性能進行測試。結(jié)果表明：制備的摻氮ＷＯ３薄膜為非晶態(tài)，其非晶衍射包的峰位隨著含Ｎ量的增加而移動；隨著ＷＯ３薄膜中含Ｎ量的升高，表面粗糙度增大，器件在著色態(tài)透光率降低；摻氮ＷＯ３薄膜中Ｗ、Ｏ分別以Ｗ６＋ 和Ｏ２－ 存在，而Ｎ以中性價態(tài)、代換Ｏ位與Ｗ 鍵合以及表面吸附３種狀態(tài)存在。當摻氮量為２．８０％時，電致變色器件調(diào)制幅度最大，適用于節(jié)能玻璃。