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V₂O₅是一種具有熱致相變特性的新型非線性光學材料,被廣泛應用于激光致盲防護領域。V₂O₅薄膜的表面粗糙度是影響其性能的重要因素。本文采用磁控濺射鍍膜的方法在藍寶石表面制備V₂O₅薄膜,通過控制氧氬比以及襯底溫度,探究V₂O₅薄膜表面粗糙度與這兩個因素之間的關系。實驗表明,襯底溫度較低（約300℃）時,表面粗糙度較小,且隨氧含量變化不大;襯底溫度較高（400℃以上）時,隨著氧含量的增加,表面粗糙度變大。同時,當氧分壓一定時,隨著襯底溫度的提高,薄膜的表面粗糙度也增大。