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介紹了應(yīng)用原子力顯微鏡(AFM) 掃描測量超精密加工用金剛石刀具刃口半徑的方法,給出
了測量圖象和測量結(jié)果。該方法可提高金剛石刀具刃口半徑的測量精度,對進(jìn)一步分析刃口參數(shù)對超
精密加工表面質(zhì)量的影響具有一定指導(dǎo)意義。