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 對(duì)反應(yīng)濺射沉積的WOx 薄膜在電致變色反應(yīng)中結(jié)晶性能的變化進(jìn)行了研究。結(jié)果表明: 電致變色
反應(yīng)增加了薄膜的晶體特性, 使著退色WOx 薄膜的選區(qū)電子衍射呈現(xiàn)明顯的多晶環(huán)特性, 而原始沉積態(tài)
WOx 薄膜為非晶光暈衍射特性。STM 分析得知, 電致變色反應(yīng)使薄膜的表面形貌也發(fā)生了劇烈的變化。

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作者

燕峰,王曉光.

期刊

材料工程,5,39-42(1999)

年份