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采用原子力顯微鏡(A FM ) , 對(duì)常見(jiàn)的氧化物單層膜、增透膜和高反膜的表面形貌進(jìn)行了觀
測(cè), 并初步研究了激光預(yù)處理對(duì)薄膜表面形貌的影響。