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介紹了原子力顯微鏡(A FM ) 的原理及特點(diǎn)。用A FM 對(duì)光盤(pán)上記錄信息用的凹
坑結(jié)構(gòu)進(jìn)行了三維檢測(cè), 并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了分析。結(jié)論表明A FM 在光盤(pán)質(zhì)量檢測(cè)過(guò)程中
具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。