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文章介紹了在原子力顯微鏡 (AFM)納米操作系統(tǒng)中ARM處理器的應(yīng)用及開(kāi)發(fā),在此基礎(chǔ)上搭建了具有3D力反饋的納米操作系統(tǒng)。結(jié)合AFM納米操作系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性問(wèn)題,進(jìn)行了ARM 開(kāi)發(fā)板的系統(tǒng)軟件架構(gòu)和PSD(四象限光電檢測(cè)器)信號(hào)的PID控制結(jié)果的分析,使納米操作系統(tǒng)在實(shí)時(shí)性和成像的質(zhì)量等方面都得到相應(yīng)改進(jìn)。