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在紡織材料表面附著ZnO能增加其防紫外線透過功能,利用RF磁控濺射法在PET非織造布表面沉積ZnO薄膜,并利用原子力顯微鏡(AFM)和能量彌散X射線法(EDX)對ZnO薄膜的表面形貌和結(jié)構(gòu)進行表征和分析。結(jié)果表明:利用RF磁控濺射沉積的納米ZnO薄膜其成膜方式是一種多層生長模式,薄膜顆粒中只含有Zn、O 2種元素;沉積的ZnO顆粒具備納米級尺度,且顆粒分布均勻、膜層致密。利用紫外可見分光光度計測試表明,形成的ZnO薄膜對紫外線具有很好的吸收能力,對可見光的透過基本沒有影響。