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采用溶膠—凝膠法在石英玻璃襯底上制備了Fe摻雜的ZnO薄膜，研究了不同的Fe摻雜濃度對ZnO薄膜的微結(jié)構(gòu)與光學(xué)性質(zhì)的影響．利用X射線衍射分析了薄膜樣品的晶向和晶相，利用原子力顯微鏡觀測了薄膜樣品的表面形貌，利用雙光束紫外—可見分光光度計分析了ZnO薄膜樣品的光學(xué)性質(zhì)．實驗結(jié)果表明：所有ZnO薄膜樣品都是六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)，ZnO晶粒沿C軸擇優(yōu)生長．質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1％ Fe摻入之后，ZnO薄膜的C軸擇優(yōu)取向進(jìn)一步增強，薄膜的晶化質(zhì)量也得到進(jìn)一步提高．當(dāng)Fe的摻雜濃度高于1％時，ZnO薄膜（002）衍射峰的強度又降低了，這可能是由于Fe^x＋（x=2或3）和Zn^2＋具有不同的離子半徑，大量的Fe^x＋進(jìn)入晶格取代Zn^2＋導(dǎo)致晶格嚴(yán)重畸變，從而影響了ZnO晶粒的正常生長．所制備的ZnO薄膜在可見光區(qū)都具有高的透射率，由吸收邊估算出來的ZnO薄膜的光學(xué)帶隙表明：隨著Fe的摻雜濃度的提高，光學(xué)帶隙逐漸展寬．