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利用射頻磁控濺射法,室溫下通過交替濺射ZnO和Ag,在PET纖維基材上制備 ZnO/Ag/ZnO納米結(jié)構(gòu)多層膜。運用掃描電鏡和原子力顯微鏡對薄膜表面形貌進(jìn)行分析,用分光光度計測試其透光性能,用四探針電阻測試儀測試其方塊電 阻。結(jié)果表明:纖維基Zno/Ag/ZnO多層膜致密、均勻,對紫外光表現(xiàn)為較強的吸收能力;Ag膜厚度的改變可以調(diào)控多層膜的光電性 能;ZnO(40nm)/Ag(20nm)/ZnO(40m)多層膜呈現(xiàn)多晶結(jié)構(gòu),方塊電阻為4.4Ω;透光率接近30%。

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作者

鄧炳耀,劉江峰,高衛(wèi)東.

期刊

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報

年份