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采用RF磁控濺射法在PP(丙綸)紡粘法非織造布上制備摻鋁氧化鋅(AZO)薄膜,并利用原子力顯微鏡(AFM)、掃描電鏡(SEM)及能譜儀(EDX)對AZO薄膜的表面形貌、結(jié)構(gòu)及元素成分進行表征和分析。結(jié)果表明:在PP基上濺射沉積的AZO薄膜具有納米級的尺度,而且顆粒分布均勻、致密;經(jīng)過濺射后薄膜顆粒中除原先的C元素外,只含有Zn、Al、O元素,而且薄膜的純度很高。隨著沉積時間的延長,納米AZO薄膜致密性、均勻性越來越好。