采用磁控和離子柬聯(lián)合濺射法制備了NdFeB/α—Fe/NdFeB系列納米復(fù)合多層膜,研究了熱處理溫度對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、表面形貌和磁性能的影響。
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作者
張麗娜,張敏剛,楊揚(yáng),劉小鵬,衣美卿
期刊
機(jī)械工程與自動(dòng)化
年份
采用磁控和離子柬聯(lián)合濺射法制備了NdFeB/α—Fe/NdFeB系列納米復(fù)合多層膜,研究了熱處理溫度對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、表面形貌和磁性能的影響。
張麗娜,張敏剛,楊揚(yáng),劉小鵬,衣美卿
機(jī)械工程與自動(dòng)化