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針對原子力顯微鏡(AFM)在高速掃描下成像誤差大的缺點,提出了一種基于壓電掃描管動態(tài)特 性的改進成像方法,并對這種成像方法的性能進行了理論分析和實驗驗證。...

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作者

董曉坤;方勇純;周嫻瑋;張玉東

期刊

高技術通訊

年份