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采用熱絲化學(xué)氣相沉積方法,以Ar+CH4+H2混合氣體作為氣源,通過改變氬氣濃度,在單晶硅(100)基片上沉積納米金剛石膜;采用掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、X射線衍射儀和拉...