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采用陽(yáng)極氧化法在純Ta表面制備絕緣性優(yōu)良的Ta2O5介質(zhì)膜,分析陽(yáng)極氧化制備Ta2O5膜的基本機(jī)理,討論不同電解液、陽(yáng)極氧化電壓及熱處理等工藝參數(shù)對(duì)Ta2O5膜性能的影響。利...