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?本文分析了納米ZrO2陶瓷在普通和超聲磨削狀態(tài)下的裂紋擴(kuò)展過程及延性去除機(jī)理；通過對(duì)不同磨削狀態(tài)的磨削力及AFM和SEM對(duì)表面質(zhì)量的觀察，做了在普通和超聲磨削狀態(tài)下的對(duì)比試驗(yàn)，研究了臨界延性磨削深度對(duì)磨削力及表面質(zhì)量的影響關(guān)系；基于超聲振動(dòng)磨削過程及磨削力的分析，討論了超聲振動(dòng)增加延性磨削深度的原因，最后通過AFM對(duì)延性域加工表面形貌的形成機(jī)理進(jìn)行了觀察。研究表明：超聲加工能明顯提高納米ZrO2陶瓷的臨界延性磨削深度，振動(dòng)方向垂直于砂輪線速度方向時(shí)，其磨削效果要優(yōu)于振動(dòng)方向平行于砂輪速度方向的磨削效果。通過在延性域范圍內(nèi)磨削，超聲加工能高效地獲得納米加工表面，超精密磨削表面是由不同幅值多種波形疊加的結(jié)果。