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為開發(fā)光電納米結(jié)構(gòu)功能紡織品,采用磁控濺射技術(shù)在丙綸非織造布上制備摻鋁氧化鋅（AZO）薄膜,并對(duì)AZO膜進(jìn)行原子力顯微鏡（AFM）表征,分析不同工藝參數(shù)對(duì)AZO薄膜結(jié)構(gòu)以及AZO的導(dǎo)電性能和抗紫外線性能的影響。結(jié)果表明：顆粒直徑隨著壓強(qiáng)增大而增大,當(dāng)壓強(qiáng)增大到一定程度后,顆粒直徑逐漸變小;顆粒直徑隨著功率增加而增大,但繼續(xù)增加,薄膜的均勻性將變差,表面變得粗糙,但導(dǎo)電性能提高;濺射時(shí)間的延長(zhǎng)能改善薄膜的均勻性和致密性。在濺射壓強(qiáng)為0.5 Pa,濺射功率為120 W,濺射時(shí)間為60 min時(shí),AZO薄膜的均勻性和致密性最好,制備的AZO薄膜具有優(yōu)良導(dǎo)電性能,同時(shí)對(duì)紫外線的吸收能力較好。