針對(duì)遲滯非線性引起的壓電掃描器定位不準(zhǔn)確問(wèn)題,提出一種基于變比模型的遲滯前饋控制方法。通過(guò)分析原子力顯微鏡(AFM)掃描圖像數(shù)據(jù),利用變比模型,對(duì)壓電掃描器的遲滯非線性進(jìn)行了準(zhǔn)確建模,在此基礎(chǔ)上,針對(duì)原子力顯微鏡納米級(jí)表面成像過(guò)程中壓電掃描器的周期性運(yùn)動(dòng)軌跡,設(shè)計(jì)一種基于逆的前饋控制策略。將所提出的遲滯補(bǔ)償算法應(yīng)用于本原CSPM5500系列原子力顯微鏡系統(tǒng),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明這種方法明顯減弱了遲滯非線性的影響,有效抑制了圖像畸變,提高了AFM系統(tǒng)的成像性能。
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作者
張玉東;方勇純;余冠云;吳浚瀚
期刊
控制工程
年份