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為了研究沉積時間和襯底溫度對類金剛石薄膜的影響，在用脈沖激光沉積法在Al2O3 襯底上制備類金剛石薄膜的實驗中，保持其他實驗參數(shù)不變，先取沉積時間分別為15 min 和40 min 來沉積薄膜；再取襯底溫度分別30℃和300℃來沉積薄膜。用顯微鏡觀察薄膜是否有起皺現(xiàn)象，用Raman 光譜儀檢測薄膜的微觀結(jié)構(gòu)，用原子力顯微鏡檢測薄膜的表面形貌。結(jié)果表明：薄膜中存在一些石墨顆粒。沉積時間和襯底溫度對薄膜的黏附性和微觀結(jié)構(gòu)均有顯著影響———延長沉積時間或升高襯底溫度都將導(dǎo)致薄膜內(nèi)的殘余應(yīng)力增加和薄膜起皺。縮短沉積時間或升高襯底溫度都將導(dǎo)致薄膜中的
sp3/sp2 比值減小、非晶態(tài)的sp2 鍵向石墨晶相轉(zhuǎn)化、石墨晶粒數(shù)量增多，體積增大。最后，根據(jù)脈沖激光沉積類金剛石薄膜的機理對實驗現(xiàn)象進行了分析